輝光放電

高穩(wěn)定性、高精度、控制多樣化、起弧響應(yīng)速度快

“輝光放電”是一種特定的放電現(xiàn)象。當(dāng)氣體中施加足夠的電壓時(shí)，會(huì)出現(xiàn)氣體放電，形成具有輝光特征的光輝。該原理廣泛應(yīng)用于多種工業(yè)設(shè)備，例如刻蝕機(jī)、氦氖激光器、醫(yī)用加速器、PVD真空鍍膜機(jī)以及磁控濺射鍍膜機(jī)等。輝光放電在半導(dǎo)體生產(chǎn)、污水處理、滅菌消毒、聚合物材料表面改性及分析儀器的離子源等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價(jià)值。